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溅射靶材的性能要求有哪些?
溅射靶材的性能要求有哪些?
2023-9-28
溅射靶材的性能要求 一、纯度 纯度是溅射靶材的主要性能指标,溅射靶材的纯度对薄膜的性能影响是很大的,不过在实际应用过程中...