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溅射靶材保养方法有哪些？
2023/9/28
溅射靶材保养方法
1、溅射靶材维护
靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中，因为溅射靶材不干净的腔体而导致出现短路或起弧现象，因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两侧的堆积物，有助于使用者能连续地以大功率密度进行溅射。
2、溅射靶材储存
对于溅射靶材的储存，尽量将其储存在真空包装中，特别是贴合溅射靶材，须在真空条件下储存，避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。储存金属溅射靶材时，可以将其储存在洁净的塑料袋中，不过能真空包装就尽量将其真空包装储存。
3、溅射靶材清洁
首先使用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁，之后再使用酒精进行清洁，清洁完后使用去离子水对溅射靶材进行清洗，清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟，如果是陶瓷溅射靶材的话建议使用无绒布进行清洗。上述全部完成后，再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲洗，清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。
4、溅射靶材的短路和密封性查看
溅射靶材在安装完成后要对整个阴极进行短路检查和密封性检查，一般是使用电阻仪摇表的形式对阴极进行检查，判断它是否存在短路现象，在确保阴极不存在短路现象后，再对它进行密封性检查，将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。
5、溅射靶材的包装和运输
在溅射靶材的运输过程中，尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中，之后使用木箱做为外包装，并在其四周安装防撞层，保护靶材和背板，防止靶材和背板在运输储存过程中损坏。
1、溅射靶材维护
靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中，因为溅射靶材不干净的腔体而导致出现短路或起弧现象，因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两侧的堆积物，有助于使用者能连续地以大功率密度进行溅射。
2、溅射靶材储存
对于溅射靶材的储存，尽量将其储存在真空包装中，特别是贴合溅射靶材，须在真空条件下储存，避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。储存金属溅射靶材时，可以将其储存在洁净的塑料袋中，不过能真空包装就尽量将其真空包装储存。
3、溅射靶材清洁
首先使用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁，之后再使用酒精进行清洁，清洁完后使用去离子水对溅射靶材进行清洗，清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟，如果是陶瓷溅射靶材的话建议使用无绒布进行清洗。上述全部完成后，再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲洗，清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。
4、溅射靶材的短路和密封性查看
溅射靶材在安装完成后要对整个阴极进行短路检查和密封性检查，一般是使用电阻仪摇表的形式对阴极进行检查，判断它是否存在短路现象，在确保阴极不存在短路现象后，再对它进行密封性检查，将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。
5、溅射靶材的包装和运输
在溅射靶材的运输过程中，尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中，之后使用木箱做为外包装，并在其四周安装防撞层，保护靶材和背板，防止靶材和背板在运输储存过程中损坏。
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